LuxFlux
利用シーン
様々な業種課題を解決するLuxFlux社の産業用ハイパースペクトルイメージング(HSI)技術
LuxFluxは、従来よりハイパースペクトルイメージング(HSI)で使われていた「分類」用途に加え、薄膜の厚さや、薬や食品などの対象物の成分量を「測定」できるため、今まで活用が進んでいなかった、半導体・フィルム・素材・FPDなどの製品のインラインでの製造や検査用途で活躍しています。
- Case 1 【分類】業界:リサイクル/対象:透明樹脂
リサイクル異物混入検査「PET素材の異物検出」
線形判別分析(LDA)で波長成分を割り当て、透明樹脂をオブジェクトベースで分類・可視化することができます。
- Case 2 【測定】業界:医薬品/対象:錠剤
成分の定量化「薬剤成分の定量」
NIR/SWIRのハイパースペクトルカメラで坐剤を撮像し、解熱鎮痛坐剤に含まれる、パラセタモールの成分量(125mg, 250mg,500mg,1000mg)を測定するプロセスをご紹介します。
- Case 3 【測定】業界:半導体/対象:ウエハ
薄膜厚み測定1「半導体(MEMS)ウエハの膜厚測定」
薄膜の厚みを非接触・2次元で測定できます。可視光~近赤外領域(500-900nm)による感圧センサのMEMSのウエハの測定例です。
- Case 4 【測定】業界:半導体/対象:ウエハ
薄膜厚み測定2「半導体(MEMS)ウエハの膜厚測定」
薄膜厚み測定1と同じMEMSのウエハを長波長域を撮像できるInGaAsセンサのハイパースペクトルカメラを活用した近赤外領域(1,200-1,650nm)での測定例です。
- Case 5 【測定】業界:半導体/対象:ウエハ
薄膜厚み測定3「半導体ウエハのSiN膜厚測定」
膜付けしたウエハの膜厚を非接触で測定した例です。
平均厚さ136nmのSiN(シリコン窒化)膜の厚みを測定しています。
- Case 6 【測定】業界:素材/対象:太陽電池
薄膜厚み測定4「次世代太陽電池のMAPI膜厚検査」
次世代太陽電池である「ペロブスカイト型太陽電池」の膜厚測定の例です。
基板上にスピンコーティングされたMAPIの厚さ430nm近傍の膜サンプル2枚を測定・比較しています。
- Case 7 【測定】業界:素材/対象:透明フィルム
薄膜厚み測定5「透明PETフィルムの膜厚検査」
フィルム素材を非接触で測定した例です。
平均厚さ12μm強のPETフィルムの厚みをピークベースの薄膜測定フィルタで測定しています。
- Case 8 【測定】業界:半導体/対象:ウエハ
薄膜厚み測定6「圧力センサダイの膜厚測定」
圧力センサダイの測定例です。膜構造は、1層目に「シリコン窒化膜」、2層目に「二酸化ケイ素膜」、3層目に「シリコン膜」の3層に分かれています。
- Case 9 【測定】業界:電子/対象:FPDパネル
色定量化による品質検証「FPD発色の発光品質評価」
テストパターンの波長(色)ごとの輝度を厳密に計測し、発色品質の正確な評価ができます。
- Case 10 【測定】業界:食品(加工)/対象:牛ひき肉
食品検査「牛ひき肉の貯蔵状態評価」
食材の貯蔵状態評価は一般的に困難でしたが、非接触・非破壊で評価できるひき肉パックの測定をご紹介します。
- Case 11 【分類】業界:食品/対象:アボカド
食材品質検査「アボカドのあざ検出と分類」
アボカドのような果皮の色が濃い果実のあざでも、LuxFluxのハイパースペクトルイメージング(HSI)技術で波長分析することで可視化できます。
- Case 12 【分類】業界:食品/対象:ピーナッツ
食品素材分類「ピーナッツの中身と殻の分類」
ピーナッツの殻、薄皮、中身の分類や、ほぼ同じ茶色のヘーゼルナッツとの仕分けも可視化できます。