利用シーン・薄膜厚み測定１「半導体ウエハ(MEMS)の膜厚測定」LuxFlux

LuxFluxのハイパースペクトルイメージング(HSI)技術により、薄膜の厚みを非接触・2次元で測定することが可能になりました。ハイパースペクトルカメラのイメージセンサの１ピクセルを１つの観測点として、画素数分の厚みの値を計測して可視化しています。可視光～近赤外領域(500-900nm)による感圧センサのMEMS^※のウエハの測定例です。