利用シーン・薄膜厚み測定６「圧力センサダイの膜厚測定」LuxFlux

【分類】業界：リサイクル／対象：透明樹脂

圧力センサダイの測定例です。膜構造は、1層目に「シリコン窒化膜」、2層目に「二酸化ケイ素膜」、3層目に「シリコン膜」の3層に分かれています。

左から、1層目の「シリコン窒化膜」、2層目の「二酸化ケイ素膜」、3層目の「シリコン膜」の結果です。

上段は膜厚を疑似カラー化した画像、下段は膜厚のヒストグラムです。

動画タイトル	内容	再生時間	視聴申し込み
ハイパースペクトルカメラで圧力センサダイの膜厚測定（説明）	光の干渉効果 (PV法)や複素屈折率を応用し、高精度な膜厚計測方法について説明します。	3分3秒	動画視聴
圧力センサダイの膜厚測定（操作デモ）	圧力センサダイの膜厚測定方法を実際の操作画面で説明いたします。	12分12秒	動画視聴

キヤノンITソリューションズ株式会社

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