利用シーン・薄膜厚み測定４「次世代太陽電池のMAPI膜厚検査」LuxFlux

次世代太陽電池である「ペロブスカイト型太陽電池」の膜厚測定の例です。SiO(酸化シリコン)基板上にスピンコーティングされたヨウ化メチルアンモニウム鉛(MAPI)の厚さ430nm近傍の膜サンプル２枚を測定、比較しています。観測される波長範囲において、nとkの値が大きく変化する(膜内で光が減衰する)ため測定しづらい膜ですが、チューニング可能なn&k曲線をベースとしたアルゴリズムにより、厚みを測定しています。