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利用シーンハイパースペクトルイメージング・LuxFlux

様々な業種課題を解決するLuxFlux社の産業用ハイパースペクトルイメージング(HSI)技術

LuxFluxは、従来よりハイパースペクトルイメージング(HSI)で使われていた「分類」用途に加え、薄膜の厚さや、薬や食品などの対象物の成分量を「測定」できるため、今まで活用が進んでいなかった、半導体・フィルム・素材・FPDなどの製品のインラインでの製造や検査用途で活躍しています。

Case1:分類 業界:リサイクル/対象:透明樹脂

リサイクル異物混入検査「PET素材の異物検出」

PET素材の異物検出

線形判別分析(LDA)で波長成分を割り当て、透明樹脂をオブジェクトベースで分類・可視化することができます。

Case2:測定 業界:医薬品/対象:錠剤

成分の定量化「薬剤成分の定量」

薬剤成分の定量

NIR/SWIRのハイパースペクトルカメラで坐剤を撮像し、解熱鎮痛坐剤に含まれる、パラセタモールの成分量(125mg, 250mg,500mg,1000mg)を測定するプロセスをご紹介します。

Case3:測定 業界:半導体/対象:ウエハ

薄膜厚み測定1「半導体(MEMS)ウエハの膜厚測定」

半導体ウエハの膜厚測定

薄膜の厚みを非接触・2次元で測定できます。可視光~近赤外領域(500-900nm)による感圧センサのMEMSのウエハの測定例です。

Case4:測定業界:半導体/対象:ウエハ

薄膜厚み測定2「半導体(MEMS)ウエハの膜厚測定」

半導体ウエハの膜厚測定

薄膜厚み測定1と同じMEMSのウエハを長波長域を撮像できるInGaAsセンサのハイパースペクトルカメラを活用した近赤外領域(1,200-1,650nm)での測定例です。

Case5:測定 業界:半導体/対象:ウエハ

薄膜厚み測定3「半導体ウエハのSiN膜厚測定」

半導体ウエハの膜厚測定

膜付けしたウエハの膜厚を非接触で測定した例です。

平均厚さ136nmのSiN(シリコン窒化)膜の厚みを測定しています。

Case6:測定 業界:素材/対象:太陽電池

薄膜厚み測定4「次世代太陽電池のMAPI膜厚検査」

次世代太陽電池の膜厚検査

次世代太陽電池である「ペロブスカイト型太陽電池」の膜厚測定の例です。

基板上にスピンコーティングされたMAPIの厚さ430nm近傍の膜サンプル2枚を測定・比較しています。

Case7:測定 業界:素材/対象:透明フィルム

薄膜厚み測定5「透明PETフィルムの膜厚検査」

透明PETフィルムの膜厚検査

フィルム素材を非接触で測定した例です。

平均厚さ12μm強のPETフィルムの厚みをピークベースの薄膜測定フィルタで測定しています。

Case8:測定 業界:半導体/対象:ウエハ

薄膜厚み測定6「圧力センサダイの膜厚測定」

半導体/対象:ウエハ

圧力センサダイの測定例です。膜構造は、1層目に「シリコン窒化膜」、2層目に「二酸化ケイ素膜」、3層目に「シリコン膜」の3層に分かれています。

Case9:測定 業界:電子/対象:FPDパネル

色定量化による品質検証「FPD発色の発光品質評価」

FPD発色の発光品質評価

テストパターンの波長(色)ごとの輝度を厳密に計測し、発色品質の正確な評価ができます。

Case10:測定 業界:食品(加工)/対象:牛ひき肉

食品検査「牛ひき肉の貯蔵状態評価」

牛ひき肉の貯蔵状態評価

食材の貯蔵状態評価は一般的に困難でしたが、非接触・非破壊で評価できるひき肉パックの測定をご紹介します。

Case11:分類 業界:食品/対象:アボカド

食材品質検査「アボカドのあざ検出と分類」

アボカドのあざ検出と分類

アボカドのような果皮の色が濃い果実のあざでも、LuxFluxのハイパースペクトルイメージング(HSI)技術で波長分析することで可視化できます。

Case12:分類 業界:食品/対象:ピーナッツ

食品素材分類「ピーナッツの中身と殻の分類」

ピーナッツの中身と殻の分類

ピーナッツの殻、薄皮、中身の分類や、ほぼ同じ茶色のヘーゼルナッツとの仕分けも可視化できます。