半導体組込みソリューション・半導体機器ソフトウェア・生産ライン自動化システム開発支援

キヤノンITソリューションズは、半導体製造装置向けソフトウェアを中心に、30年以上にわたり開発を続けてきました。半導体の微細化・高精度化や、AI・車載・パワー半導体など用途の拡大により、ソフトウェアに求められる品質・開発スピード・柔軟性は、ますます高まっています。こうした変化に対し、当社は長年培った装置制御ソフトウェアの知見とSEMI規格への深い理解を強みに、革新性と安定性を両立した開発を提供しています。さらに、長期運用を見据えた品質保証体制と継続的なサポートを通じて信頼関係を築き、装置開発を支える長期的なパートナーとして貢献します。

当社の半導体ソリューションは半導体製造装置、装置周辺システム、Fabシステムの３つの領域をソフトウェアで一体的に支えています。装置単体の制御にとどまらず、運用・製造現場まで見据えたシステム開発により半導体製造のライフサイクル全体で価値を提供しています。

半導体製造装置ソフトウェアの価値を高める当部門の特長とポイントをご紹介します。 

OSや通信技術などの基盤技術を土台に、半導体ソフトウェア開発に必要なコア技術を統合し、半導体製造装置の性能と安定稼働を支えます。ウエハ／マスク搬送・アライメント・温度制御・キャリブレーションをリアルタイムに統合制御し装置性能を最大限に引き出します。 

SEMI規格に準拠した開発を担い、ホストシステムと半導体製造装置間のリアルタイム連携を実現

装置シミュレータを活用することで、実機に依存せずに装置理解・検証・教育を進めることが可能です。 

データの可視化や分析にとどまらず、装置ログを判断につなげるデータ活用を実現します。 

装置は、常に様々な状態を持っています。 その状態は、数TB規模に及ぶ膨大なログの中に埋もれています。 当社は、ログをただ蓄積・可視化するのではなく、 判断に使える状態へ設計することで現場の意思決定を支援します。 

可視化の前に必要なのは、判断に耐える形でログを整理し構造を設計することです。当社は、装置制御ソフトウェア開発で培った知見をもとに、 装置の状態を判断できる形へ設計し、現場の意思決定と行動を支えていきます。 

半導体製造製造装置の中核を担う制御ソフトウェアから、開発・運用を支える周辺システムまで。幅広い開発領域をカバーし、半導体開発の現場を一気通貫で支えます。