LuxFlux
薄膜厚み測定1「半導体ウエハ(MEMS)の膜厚測定」
【測定】業界:半導体/対象:ウエハ
LuxFluxのハイパースペクトルイメージング(HSI)技術により、薄膜の厚みを非接触・2次元で測定することが可能になりました。ハイパースペクトルカメラのイメージセンサの1ピクセルを1つの観測点として、画素数分の厚みの値を計測して可視化しています。可視光~近赤外領域(500-900nm)による感圧センサのMEMS*のウエハの測定例です。
*Micro Electro Mechanical System