LuxFlux

• Case 1
【分類】業界：リサイクル／対象：透明樹脂

リサイクル異物混入検査「PET素材の異物検出」

線形判別分析(LDA)で波長成分を割り当て、透明樹脂をオブジェクトベースで分類・可視化することができます。

• 詳細をみる

• Case 2
【測定】業界：医薬品／対象：錠剤

成分の定量化「薬剤成分の定量」

NIR/SWIRのハイパースペクトルカメラで坐剤を撮像し、解熱鎮痛坐剤に含まれる、パラセタモールの成分量(125mg, 250mg,500mg,1000mg)を測定するプロセスをご紹介します。

• 詳細をみる

• Case 3
【測定】業界：半導体／対象：ウエハ

薄膜厚み測定１「半導体(MEMS)ウエハの膜厚測定」

薄膜の厚みを非接触・2次元で測定できます。可視光～近赤外領域(500-900nm)による感圧センサのMEMSのウエハの測定例です。

• 詳細をみる

• Case 4
【測定】業界：半導体／対象：ウエハ

薄膜厚み測定２「半導体(MEMS)ウエハの膜厚測定」

薄膜厚み測定１と同じMEMSのウエハを長波長域を撮像できるInGaAsセンサのハイパースペクトルカメラを活用した近赤外領域(1,200-1,650nm)での測定例です。

• 詳細をみる

• Case 5
【測定】業界：半導体／対象：ウエハ

薄膜厚み測定３「半導体ウエハのSiN膜厚測定」

膜付けしたウエハの膜厚を非接触で測定した例です。
平均厚さ136nmのSiN(シリコン窒化)膜の厚みを測定しています。

• 詳細をみる

• Case 6
【測定】業界：素材／対象：太陽電池

薄膜厚み測定４「次世代太陽電池のMAPI膜厚検査」

次世代太陽電池である「ペロブスカイト型太陽電池」の膜厚測定の例です。
基板上にスピンコーティングされたMAPIの厚さ430nm近傍の膜サンプル２枚を測定・比較しています。

• 詳細をみる

• Case 7
【測定】業界：素材／対象：透明フィルム

薄膜厚み測定５「透明PETフィルムの膜厚検査」

フィルム素材を非接触で測定した例です。
平均厚さ12μm強のPETフィルムの厚みをピークベースの薄膜測定フィルタで測定しています。

• 詳細をみる

• Case 8
【測定】業界：半導体／対象：ウエハ

薄膜厚み測定６「圧力センサダイの膜厚測定」

圧力センサダイの測定例です。膜構造は、1層目に「シリコン窒化膜」、2層目に「二酸化ケイ素膜」、3層目に「シリコン膜」の3層に分かれています。

• 詳細をみる

• Case 9
【測定】業界：電子／対象：FPDパネル

色定量化による品質検証「FPD発色の発光品質評価」

テストパターンの波長(色)ごとの輝度を厳密に計測し、発色品質の正確な評価ができます。

• 詳細をみる

• Case 10
【測定】業界：食品(加工)／対象：牛ひき肉

食品検査「牛ひき肉の貯蔵状態評価」

食材の貯蔵状態評価は一般的に困難でしたが、非接触・非破壊で評価できるひき肉パックの測定をご紹介します。

• 詳細をみる

• Case 11
【分類】業界：食品／対象：アボカド

食材品質検査「アボカドのあざ検出と分類」

アボカドのような果皮の色が濃い果実のあざでも、LuxFluxのハイパースペクトルイメージング(HSI)技術で波長分析することで可視化できます。

• 詳細をみる

• Case 12
【分類】業界：食品／対象：ピーナッツ

食品素材分類「ピーナッツの中身と殻の分類」

ピーナッツの殻、薄皮、中身の分類や、ほぼ同じ茶色のヘーゼルナッツとの仕分けも可視化できます。

• 詳細をみる